Popis předmětu - XP35DTF
Přehled studia |
Přehled oborů |
Všechny skupiny předmětů |
Všechny předměty |
Seznam rolí |
Vysvětlivky
Návod
Výsledek studentské ankety předmětu je zde: XP13DTF
| XP35DTF | Diagnostika tenkých vrstev | ||
|---|---|---|---|
| Role: | Rozsah výuky: | 2P+2L | |
| Katedra: | 13135 | Jazyk výuky: | EN |
| Garanti: | Polcar T. | Zakončení: | Z,ZK |
| Přednášející: | Polcar T. | Kreditů: | 4 |
| Cvičící: | Polcar T. | Semestr: | L |
Anotace:
Surface characterization. Definition of a thin film. Deposition methods; chemical vapor deposition, physical vapor deposition. Thin film characterization: optical methods; electron diffraction. Ion implantation. X-ray diffraction and photoelectron spectroscopy. Thickness, mechanical, optical and electrical properties.Výsledek studentské ankety předmětu je zde: XP13DTF
Cíle studia:
The main goal is to provide an overview of analytical methods focused mainly on thin films deposited by chemical and physical vapor deposition.Osnovy přednášek:
| 1. | Ideal and real surface, surface roughness, surface characterization | |
| 2. | Definition of thin film, Chemical Vapor Deposition | |
| 3. | Physical Vapor Deposition, Growth of thin films | |
| 4. | Optical Methods, AFM | |
| 5. | Electron Diffraction, LEED and RHEED methods | |
| 6. | Scanning Electron Microscopy (SEM), Energy-Dispersive X-ray Spectroscopy | |
| 7. | Auger Electron Spectroscopy (AES), Transmission Electron Microscopy (TEM) | |
| 8. | Ion implantation, Secondary Ion Mass Spectroscopy (SIMS) | |
| 9. | Rutherford Backscattering Spectroscopy (RBS), Elastic Recoil Detection Analysis (ERDA) | |
| 10. | X-ray Diffraction, X-ray Photoelectron spectroscopy | |
| 11. | Thickness measurements | |
| 12. | Mechanical properties | |
| 13. | Optical and electrical properties |
Osnovy cvičení:
PhD students will visit research laboratories and carry out simple measurements on selected samples (AFM, SEM/EDX, XRD, Raman, etc).Literatura:
| 1. | Surface Analysis: The Principal Techniques, John C. Vickerman, Ian Gilmore (Editors), Wiley, 2nd edition, 2009, ISBN 0470017643 | |
| 2. | Surface Analysis Methods in Materials Science, D.J. O'Connor, Brett A. Sexton, Roger S.C. Smart (Editors) , Springer, 2nd edition, 2010, ISBN 3642074588 |
Požadavky:
Poznámka:
| Předmět je vyučován pouze v anglickém jazyce |
Klíčová slova:
Surface analysis; thin film; deposition methods; microscopyPředmět je zahrnut do těchto studijních plánů:
| Plán | Obor | Role | Dop. semestr |
| Stránka vytvořena 14.3.2025 15:50:53, semestry: Z/2025-6, L/2024-5, L/2025-6, Z/2024-5, připomínky k informační náplni zasílejte správci studijních plánů | Návrh a realizace: I. Halaška (K336), J. Novák (K336) |